[10a-PA3-1~10] 6.1 強誘電体薄膜

[10a-PA3-2] 正圧電応答顕微鏡によるP(VDF-TrFE)膜の圧電評価

〇金川 いづる¹、松下 裕司¹、吉村 武¹、藤村 紀文¹ (1.阪府大工)

キーワード：P(VDF-TrFE)、ドメイン、正圧電効果

代表的な強誘電ポリマーP(VDF-TrFE)は、優れた圧電特性や焦電特性を有することで知られている。我々は、P(VDF-TrFE)薄膜を用いた圧電MEMS超音波トランスデューサー(pMUT)の開発を目指しており、本研究においてはP(VDF-TrFE)薄膜のd₃₃圧電定数の評価に取り組んでいる。逆圧電効果によるd₃₃定数の測定は報告されているが、正圧電効果による測定例はほとんどない。そこで今回は、正圧電応答顕微鏡法(DPRM)を用いてP(VDF-TrFE)薄膜のd₃₃定数の評価およびドメイン構造の観察を行った。