[10a-PA3-1~10] 6.1 強誘電体薄膜

[10a-PA3-8] Strain Engineeringのツールとしてのナノ細孔誘起歪み

〇鈴木 孝宗¹ (1.東理大 総研機構)

キーワード：チタン酸バリウム、ナノ細孔、歪み

エピタキシャル薄膜においては、基板との結晶格子定数の違いにより派生する歪みを活用することで、その物性を調節するStrain Engineeringが知らている。我々は、界面活性剤を鋳型とした化学的手法により安価・簡便に作成できるナノ細孔を用いて機械的に変形することで、ヘテロ界面を用いずとも結晶格子歪みを導入できるのではないかと考えた。典型的なペロブスカイト型強誘電体であるチタン酸バリウムを対象に選び、その有用性を検証した。