[10a-PA4-1~10] 9.1 誘電材料・誘電体

[10a-PA4-7] 第一原理計算によるZr添加AlNの圧電性に関する研究

〇江藤 和也^1,2、平田 研二²、Anggraini Sri Ayu²、秋山 守人²、上原 雅人^1,2、山田 浩志^1,2 (1.九大総理工、2.産総研)

キーワード：圧電体、窒化物、第一原理計算

ウルツ鉱型結晶構造を有するAlNは、高いQ値と良好な温度安定性を持つ圧電体である。そのため通信端末用のFBAR型BAWフィルタに使用されている。AlNへのSc添加により、圧電特性が飛躍的に向上することが知られている。しかし、Sc金属は高価であることから、代替元素が実験や理論計算により盛んに探索されている。本研究では、Zr添加AlNの圧電定数を第一原理計算で調査した。その結果、Sc添加AlNと同様に圧電定数の向上を確認した。