09:30 〜 11:30
[10a-PB2-3] ウエットエッチングによるMg2Si結晶欠陥の観察
キーワード:Mg2Si
ウエットエッチングによってMg2Siの結晶欠陥を観察した。評価結晶はアルミナルツボ用いて成長したn型のMg2Si結晶を用いた。エッチングによってピットや線状のエッチングパターンが見られた。ピットについては転移や析出物との関係が示唆される。線状パターンは粒界を示している。
一般セッション(ポスター講演)
13 半導体 » 13.2 探索的材料物性・基礎物性
2019年3月10日(日) 09:30 〜 11:30 PB2 (武道場)
09:30 〜 11:30
キーワード:Mg2Si