2019年第66回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(ポスター講演)

13 半導体 » 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[10a-PB2-1~18] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

2019年3月10日(日) 09:30 〜 11:30 PB2 (武道場)

09:30 〜 11:30

[10a-PB2-3] ウエットエッチングによるMg2Si結晶欠陥の観察

鱒渕 稜平1、布施 雄太郎1、鵜殿 治彦1 (1.茨城大工)

キーワード:Mg2Si

ウエットエッチングによってMg2Siの結晶欠陥を観察した。評価結晶はアルミナルツボ用いて成長したn型のMg2Si結晶を用いた。エッチングによってピットや線状のエッチングパターンが見られた。ピットについては転移や析出物との関係が示唆される。線状パターンは粒界を示している。