[10a-PB2-1~18] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[10a-PB2-5] カルシウムシリサイドのHF処理によるCaF₂ナノ粒子の作製

〇小野 祥希¹、渥美 七虹²、伊藤 聖悟²、沼澤 有信²、黄 亜磊³、立岡 浩一²、高橋 尚久⁴ (1.静岡工、2.静岡大院工、3.静岡大院創造、4.ヤマハ発動機先進材料研)

キーワード：シリサイド半導体、ナノ粒子、CaF2