[10a-PB2-1~18] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[10a-PB2-7] CaSi₂のMnCl₂/NH₄Cl処理によるSiナノワイヤ/ナノシート複合体の作製

〇伊藤 聖悟¹、沼澤 有信²、翁 明イ¹、渥美 七虹²、小野 祥希¹、黄 亜磊³、立岡 浩一²、高橋 尚久⁴ (1.静岡工、2.静岡大院工、3.静岡大院創造、4.ヤマハ発動機先進材料研)

キーワード：シリサイド半導体、ナノシート、ナノワイヤー