[10a-S011-1~8] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[10a-S011-2] ZnO/VZO/ZnO積層膜の固相成長におけるV濃度の配向性への影響

〇(B)松澤 周平¹、志藤 健太²、岡田 健²、川島 知之²、鷲尾 勝由² (1.東北大工、2.東北大院工)

キーワード：酸化亜鉛、バナジウム、固相成長

a面サファイア基板上でのZnO/V添加ZnO(VZO)/ZnO積層膜（総膜厚300 nm以上）の固相成長において、焼成後の膜全体のV濃度を制御することにより傾斜配向の抑制を図った。