[10a-S221-1~11] 13.5 デバイス／配線／集積化技術

[10a-S221-11] 酸化膜界面近傍に局在する不純物による散乱ポテンシャルの乱雑位相近似

〇(B)菅 吉朗¹、吉田 勝尚²、佐野 伸行² (1.筑波大応理、2.筑波大数理)

キーワード：不純物、散乱ポテンシャル、酸化膜界面