[10a-S221-1~11] 13.5 デバイス／配線／集積化技術

[10a-S221-8] 2トラップ間のチャージポンピング相互作用

〇土屋 敏章¹、堀 匡寛¹、小野 行徳¹ (1.静大電研)

キーワード：チャージポンピング、界面トラップ、Pbセンター

これまで，チャージポンピング(CP)法を駆使した体系的な界面トラップ評価法を確立して，真に単一の界面トラップを評価し，トラップの本質的な物性を明らかにすると共に，従来のCP理論を根本的に修正した．これらの知見に基づいて，2トラップ間のクーロン相互作用が原因で，一見するとP_b1センターからの信号と判断しかねない特性例について報告する．