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[10a-S222-3] 液晶性有機半導体Ph-BTBT-10の多結晶薄膜におけるコンタクト特性
キーワード:有機半導体、有機トランジスタ、コンタクト抵抗
本研究では液晶性有機半導体Ph-BTBT-10の多結晶薄膜のモノレイヤー結晶薄膜とバイレイヤー結晶薄膜のコンタクト特性について検討した。TLMによる評価でコンタクト抵抗を見積もると、モノレイヤー結晶薄膜のコンタクト特性が良いことが明らかになった。また4端子法による評価では、ソース/ドレイン電極の電圧降下を見積もることで、モノレイヤー結晶薄膜のコンタクト特性が良いことが示唆された。