[10a-S321-1~13] 1.3 新技術・複合新領域

[10a-S321-3] 炭素熱還元を用いたMOD法によるTi-doped VO₂薄膜の作製

〇ヴァンニュ ハイ¹、河原 正美²、佐村 剛²、立木 隆¹、内田 貴司¹ (1.防大、2.高純度化学研究所)

キーワード：有機金属分解、バナジウム、チタン