[10a-S321-1~13] 1.3 新技術・複合新領域

[10a-S321-9] 膜型表面応力センサを用いた水素検出法の開発

〇矢ケ部 太郎¹、今村 岳²、吉川 元起³、板倉 明子¹ (1.物材機構 RCAMC、2.物材機構 MANA、3.物材機構 RCSF)

キーワード：水素センサ

我々は膜型表面応力センサ（MSS）を用いて水素検出を試みた。水素吸蔵合金をMSSの感応膜とすることで水素を検出することが可能であった。水素濃度で4%～ppmオーダーを測定可能であった。