[10a-W323-1~9] 6.4 薄膜新材料

[10a-W323-6] 高耐熱ふく射光源を目指した六ホウ化ランタン膜の合成

Sugavaneshwar R.P.¹、Ngo D.T.^1,2、古畑 直規¹、〇長尾 忠昭^1,2 (1.物材機構 MANA、2.北大院理)

キーワード：金属ホウ化物、プラズモン、耐熱材料

本研究では、高耐熱材料であり、共有結合からなるホウ素ネットワーク構造により、高い耐熱性を示す金属ホウ化物に着目し、その中でも金属的性質を持つ六ホウ化ランタン薄膜の高品位成膜を試みた。