[10a-W521-1~12] 17.2 グラフェン

△ [10a-W521-3] グラフェンバイオセンサ実用化にむけたFET特性ドリフトの抑制

〇宮川 成人¹、品川 歩¹、牛場 翔太¹、木村 雅彦¹、小野 尭生²、金井 康²、井上 恒一²、松本 和彦² (1.村田製作所、2.阪大産研)

キーワード：グラフェン、バイオセンサ、ドリフト

グラフェンFETの応用先の１つとしてバイオセンサが挙げられる。溶液中で帯電した生体分子によってグラフェンのFET特性(電流(I_ds)-電圧(V_g)カーブ)が変化することを期待するが、実際にイオン溶液中で繰り返し I_ds- V_g特性を評価してみると、電流値が極小値を取るゲート電圧(V_Dirac)が生体分子がなくとも時間推移(ドリフト)することがわかる。センサ応用する上でドリフト現象を抑制する必要があるため、今回このドリフト現象の要因について追究した。