[10a-W521-1~12] 17.2 グラフェン

[10a-W521-8] コンダクティブAFMを用いたグラフェン/SiC界面特性評価

〇藤井 健志¹、瀧川 亜樹¹ (1.富士電機)

キーワード：ショットキー接合

金属/グラフェン/n型SiC接合の特性をコンダクティブAFMを用いて評価することにより、グラフェンの有無による明瞭なオーミック特性からショットキー特性への界面伝導特性の違いを観測した。この結果はグラフェンがn型SiC間で相互作用することによりn型SiCの電子親和力が変調されたと考えられる。