2019年第66回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.4 III-V族窒化物結晶

[10a-W541-1~12] 15.4 III-V族窒化物結晶

2019年3月10日(日) 09:00 〜 12:15 W541 (W541)

荒木 努(立命館大)、寒川 義裕(九大)

09:00 〜 09:15

[10a-W541-1] 気相反応から考えるGaN MOVPEにおける炭素混入機構

〇(M1)大河内 勇斗1、長川 健太1、洗平 昌晃2、草場 彰3、寒川 義裕3,2、柿本 浩一3、白石 賢二2,1 (1.名大院工、2.名大未来研、3.九大応力研)

キーワード：MOVPE、炭素混入