[10a-W541-1~12] 15.4 III-V族窒化物結晶

[10a-W541-2] 飛行時間型質量分析法を用いたトリメチルアルミニウムとアンモニアの気相反応分析

〇(M2)大山 武浩¹、叶 正¹、久志本 真希¹、新田 州吾²、本田 善央^2,3、天野 浩² (1.名大院工、2.名大 未来材料・システム研、3.名大 高等研究院)

キーワード：トリメチルアルミニウム、アンモニア、飛行時間型質量分析法

本研究は窒化アルミニウムの結晶成長について、トリメチルアルミニウム (TMA) とアンモニア (NH₃) の反応過程を解明することを目的とする。
TMA と NH₃ を窒素キャリアガスと共に、反応炉に流した。
混合気体の一部を質量分析装置に吸引して分析した。
測定結果より、ジメチルアルミニウム (DMA) や DMANH₂ が熱によって反応し、より質量の大きな分子に変化したことが考えられる。