[10a-W541-1~12] 15.4 III-V族窒化物結晶

[10a-W541-3] MOVPEリアクタ内におけるCp₂Mgの温度依存性

〇佐藤 陽子¹、林 大介¹、南 雅和¹、村松 昇²、岩谷 素顕² (1.堀場エステック、2.名城大学)

キーワード：p-GaN、有機金属気相成長法、Cp2Mg

p-GaNのMg濃度はデバイス性能を決める重要なパラメータであることから、MgのプリカーサであるCp₂Mgのin-situ計測が求められている。供給配管に設置するガスモニタは既にMOVPE装置へ採用されているが、より有益な情報を得るにはリアクタ内のin-situ計測が重要である。本発表では、量子カスケードレーザを用いたリアクタ内モニタを開発し、サセプタ温度を変化させたときのCp₂Mg分圧を計測したので報告する。