[10a-W611-1~9] 16.3 シリコン系太陽電池

[10a-W611-2] ALD法で作製したTiO_x/SiO_x/結晶Siヘテロ界面のパッシベーション効果発現メカニズム 〜水素原子脱離の影響〜

望月 健矢¹、〇後藤 和泰¹、北條 智彦²、黒川 康良¹、秋山 英二²、宇佐美 徳隆¹ (1.名大院工、2.東北大金研)

キーワード：酸化チタン、パッシベーション、原子層堆積法