[10a-W621-1~13] 3.12 ナノ領域光科学･近接場光学

[10a-W621-9] 表面プラズモン励起の歪み場制御による応力検出の実証

〇松井 裕章¹、田畑 仁¹ (1.東京大工)

キーワード：酸化物半導体ナノ粒子、応力センシング、表面プラズモン

近年、応力集中の可視化は、非接触な構造物診断に向けて重要とされ、試料表面に発生する応力場のセンシング技術が要求される。本講演では、圧縮歪みに対して複雑な応力履歴を示す円盤試料内の歪み計測をナノ粒子薄膜のプラズモニック応答を用いて測定する。ナノ粒子薄膜の反射率変化は、機械的特性である応力歪み曲線と一致した。それは、試料表面の応力集中部を表面プラズモン励起を通じて検出できことを実証した。