[10a-W641-1~10] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[10a-W641-4] フレキシブルVO₂薄膜を用いた超高感度歪みセンサーの創製

〇遠藤 史也¹、神吉 輝夫¹、Luca Pellegrino²、Nicola Manca³、Daniele Marre^2,3、田中 秀和¹ (1.阪大産研、2.CNR-SPIN、3.Genova Univ.)

キーワード：二酸化バナジウム、フレキシブル、歪み