2019年第66回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

6 薄膜・表面 » 6.6 プローブ顕微鏡

[10a-W933-1~8] 6.6 プローブ顕微鏡

2019年3月10日(日) 09:00 〜 11:00 W933 (W933)

大塚 洋一(阪大)

10:00 〜 10:15

[10a-W933-5] 水素プラズマにより欠陥導入したグラファイトのTERSによる評価

〇(M2)甲斐 鈴菜1、原 正則1、吉村 雅満1 (1.豊田工大)

キーワード:TERS、カーボン、グラファイト

グラファイトはデバイスや電池,触媒などの様々な分野で注目を浴びる炭素材料であるが,表面の構造により大きく性能が変わるため,表面の変化を高空間分解能で解析することが重要である.本研究では金基板上に転写したグラファイトを水素プラズマでエッチングし,TERSにより評価した.エッチング端においてDピークとGピークの他に,エッジフォノンと呼ばれるピークが確認され,エッチング部分の局所的な分光測定に成功した.