[10a-W934-1~11] 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

△ [10a-W934-10] バイオテンプレート極限加工により作製した無欠陥配置制御Siナノピラー構造による表面撥水性の制御

〇(B)竹内 聡¹、大堀 大介¹、石田 昌久²、田中 麻美²、曽田 匡洋²、寒川 誠二^1,3 (1.東北大流体研、2.長瀬産業、3.東北大AIMR)

キーワード：撥水性、Siナノピラー構造、中性粒子ビームエッチング

固体表面における撥水性の研究は、様々な応用分野で注目を集めている。我々は独自技術であるバイオテンプレート極限加工技術を用いて高均一・高密度・無欠陥の10nmサイズのSiナノピラー構造を作製した。本研究では、配置制御されたSiナノピラー構造の間隔や長さを変化させることで、表面における撥水効果の制御について検討した。