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[10p-M101-2] スピントロ二クス技術を用いた高感度ひずみ検知素子の開発とIoTセンサデバイスへの展開
キーワード:スピントロ二クス、磁気トンネル接合、歪ゲージ
近年,HDDやMRAMに用いられているMTJ素子を応用した新しいひずみ検知素子が提案されている.我々はこの素子の感度を向上するために,高磁歪のFe基アモルファス磁性材料を検知層に用いたMTJ素子の開発を行い,従来のピエゾ抵抗素子を大きく超えるひずみ検出感度を確認した.講演では作製した素子の特性と,この素子を用いて作製したIoT向けのMEMSマイクフォロンデバイスについて紹介する.