[10p-M103-1~7] カーボン系材料プラズマプロセスの現状と課題

[10p-M103-5] グラフェンナノリボンの集積化合成と不揮発性メモリ応用に向けたプラズマプロセス

〇加藤 俊顕^1,2、鈴木 弘朗¹、金子 俊郎¹ (1.東北大院工、2.JST さきがけ)

キーワード：グラフェンナノリボン、合成、不揮発性メモリ