[10p-M112-1~7] 7.1 X線技術

[10p-M112-4] 200～900 eV域対応高回折効率軟X線Ｗ/Ｃ多層膜ラミナー型回折格子の設計

〇小池 雅人¹、羽多野 忠²、アレキサンダー ピロジコフ¹、寺内 正己²、林 信和³、笹井 浩行³、長野 哲也³ (1.量研量子ビーム、2.東北大多元研、3.島津デバイス)

キーワード：軟X線、回折格子、多層膜

最近、鉄鋼のFe-L(705 eV)付近での発光分析に関心が高まっている。このため、X線多層膜を金属表面の通常の回折格子面上に付加し回折効率の向上を図る方法について考察した。表面物質がAuのラミナー型回折格子面上に膜厚7 nmのC層と同6 nmのW層を順に数対付加した多層膜回折格子の回折効率を計算した。およそ200 eV～900 eVの広いエネルギー領域で0.03以上の実用的な回折効率を示した。