[10p-M114-1~12] 光プロセスの基礎過程に迫る計測・モニタリング技術の進展

[10p-M114-10] レーザー照射によるガラス破壊現象の多変量パルス毎イメージング

〇(M1)島原 光平¹、谷 峻太郎¹、小林 洋平¹ (1.東大物性研)

キーワード：レーザー加工、ガラス