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[10p-M116-8] 圧電特性向上のための欠陥制御BiFeO3系セラミックスの開発
キーワード:圧電体、セラミックス
BiFeO3系圧電セラミックスはBi揮発に伴う酸素空孔の生成や鉄の価数変化によりリーク電流の増加やドメインピニング等の問題が生じ、圧電特性が低下する。これらの欠陥は焼結時に生成することが考えられるため焼結時の雰囲気は重要である。そこで本研究では焼結時の酸素分圧を変化させてBiFeO3系圧電セラミックスを作製し、微構造や電気特性を調査した。また、焼結後に空気中でポストアニールを行い、そのときの降温速度の影響も調査した。