[10p-PA1-1~13] 9.2 ナノ粒子・ナノワイヤ・ナノシート

[10p-PA1-5] VLS法により成長した Siナノワイヤの構造評価

〇(M1)北澤 佑記¹、小平 竜太郎¹、堀口 竜麻¹、ジェバスワン ウイパコーン²、深田 直樹²、原 真二郎¹ (1.北大量集センター、2.NIMS)

キーワード：シリコンナノワイヤ、VLS成長法