[10p-PA3-1~21] 12.7 医用工学・バイオチップ

[10p-PA3-10] 反射防止膜を付与したSiリング共振器バイオセンサー

〇前田 準^1,2、舟本 陸^1,2、雨宮 嘉照¹、池田 丈^3,1、黒田 章夫^3,1、横山 新^1,2 (1.広島大ナノデバイス研、2.広島大先端研半導体集積、3.広島大先端研分子生命機能)

キーワード：バイオセンサー、反射防止膜