[10p-PA6-1~6] 7 ビーム応用（ポスター講演）

[10p-PA6-4] アセチルアセトンとGCIB照射を用いた金属膜ALEの最適化

〇豊田 紀章¹、植松 功多¹ (1.兵庫県立大工)

キーワード：ガスクラスターイオンビーム、原子層エッチング、金属膜