[10p-PA6-1~6] 7 ビーム応用（ポスター講演）

[10p-PA6-6] 表面活性化接合法によるAl箔/AlN接合の接合強度評価

〇堀川 昇太朗¹ (1.大阪市大工)

キーワード：表面活性化接合法、パワーデバイス、AlN