[10p-PA7-1~8] 9.5 New functional materials and new phenomena

[10p-PA7-6] Preparation of ZnO film with low resistance on porous alumina

〇(M1)Shoki Yamashita¹, Joi Okugi¹, Takamitsu Tokiwa¹, Yoshitaka Morishita¹ (1.Tokyo Univ. of Agri. & Tech)

Keywords:porous alumina, zinc oxide

ポーラスアルミナの表面にZnOの透明導電膜作製することでメモリとしての応用の幅を広げることができる。しかし、ZnO膜だけでは低伝導性と粒径の大きさに問題があることがわかった。そのため、ZnO/Zn構造を作製し、ZnO膜の低抵抗化を試みた。さらに、触媒核となる金属を付与することで、ZnO結晶の粒径減少も試みたので報告する。