[10p-PA7-1~8] 9.5 新機能材料・新物性

[10p-PA7-6] ポーラスアルミナ上への低抵抗ZnO膜の作製

〇(M1)山下 翔暉¹、奥木 丈生¹、常盤 貴允¹、森下 義隆¹ (1.農工大工)

キーワード：ポーラスアルミナ、酸化亜鉛

ポーラスアルミナの表面にZnOの透明導電膜作製することでメモリとしての応用の幅を広げることができる。しかし、ZnO膜だけでは低伝導性と粒径の大きさに問題があることがわかった。そのため、ZnO/Zn構造を作製し、ZnO膜の低抵抗化を試みた。さらに、触媒核となる金属を付与することで、ZnO結晶の粒径減少も試みたので報告する。