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[10p-PA8-1] アモルファスカーボン薄膜を固体材料として用いたグラフェン/グラファイトの成長
キーワード:成長、アモルファスカーボン
CVD法をベースとしてアモルファスカーボンを固体原料としたグラフェン成長を目指して、Ni箔,Cu箔を基板として加熱温度と加熱時間による表面反応の変化を系統的に調べた。その結果、Ni基板では650〜700℃でグラファイトが形成するが、より高温では表面から炭素膜が消失することが分かった。また、Cu箔では加熱時間増加によって炭素原子が被覆していないCuが露出した表面が拡大することが分かった。