[10p-PB1-1~11] 1.6 超音波

[10p-PB1-5] LiNbO₃/アモルファス層/水晶構造における縦型リーキーSAWの解析

〇(B)浅川 詩織¹、林 純貴¹、鈴木 雅視¹、垣尾 省司¹、手塚 彩水²、桑江 博之²、横田 裕章³、米内 敏文³、岸田 和人³、水野 潤² (1.山梨大、2.早稲田大、3.日本製鋼所)

キーワード：縦型漏洩弾性表面波、アモルファス、弾性表面波

近年，SAWデバイスの高性能化が要求されており，高周波化に有利な縦型漏洩弾性表面波(LLSAW)を利用し，異種材料を組み合わせた構造が提案されている．本報告では，LN/アモルファス層/水晶構造において，LLSAWの特性を理論的に検討した結果を報告する．中間層には伝搬減衰の最小値を示す板厚の変動が少ないことを考慮しAl₂O₃を採用した． X36°Y-LN/Al₂O₃/X35°Y-Q構造上においてQ値はh/λ=0.07の時，約82,000を示した．今後は，実験を行い解析結果の実証を行う．