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[10p-PB3-6] ヒーター及びp-i-n構造を同時集積したフォトニック結晶共振器の作製
キーワード:フォトニック結晶
我々はこれまでに,2次元Siフォトニック結晶ナノ共振器(Q値数十万程度)を強く結合させた系において,共振器に捉えた光を屈折率の一方向変化を用いて断熱的に別の共振器に転送することに成功している.さらに,電気的な屈折率制御による断熱的な光転送や非相反な光制御の可能性についても検討を行なってきた.一方で,ナノ共振器の損失低減にも取り組み,共振器単体としては世界最高の実験Q値(1100万)を実証している.これまでの光の動的制御を超高Q値共振器で実現できれば,電気的な制御が容易になり,また長い光子寿命を活かした高度な制御が可能になることが期待される.今回,超高Q値設計のフォトニック結晶共振器と制御用のヒーターおよびp-i-n構造を集積したサンプルを作製したので報告する.