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[10p-PB3-9] 電圧制御型GaN/AlGaNフォトニック結晶熱輻射光源の変調度向上
キーワード:熱輻射光源、フォトニック結晶、熱輻射変調
放射率を電圧制御可能な狭帯域熱輻射光源は、光吸収による物質検出システムの小型・低消費電力化・性能向上を可能にするデバイスとして期待されている。我々は、大きなバンドオフセットにより短波化が容易で、かつ高温動作による高強度化が可能なGaN/AlGaN多重量子井戸(MQW)と2次元フォトニック結晶(2D-PC)を組み合わせ、中波長赤外域の狭帯域熱輻射光源の開発し、その放射率の電圧制御にも成功している。今回、デバイス構造の設計と作製の改良を行い、放射率変調度を向上することに成功したので報告する。