[10p-PB4-1~23] 3.13 Semiconductor optical devices

[10p-PB4-11] Electric properties of Ga₂O₃/c-Se photodiode

〇Keitada Mineo¹, Shigeyuki Imura¹, Kazunori Miyakawa¹, Masakazu Nanba¹, Hiroshi Ohtake¹, Misao Kubota¹ (1.NHK STRL)

Keywords:image sensor, selenium, gallium oxide

高感度なイメージセンサーに向けて、酸化ガリウム/結晶セレンを用いたアバランシェフォトダイオードの研究をしている。今回、低電圧でのアバランシェ増倍に向け、酸化ガリウムを結晶化すること及びスズ（Sn）を添加すること、また、結晶セレンの結晶化時間を長くすることにより、アバランシェ開始電圧を低下させ、光電流の増倍率10倍が得られるフォトダイオードの作製に成功したので報告する。