[10p-PB4-1~23] 3.13 半導体光デバイス

[10p-PB4-11] 酸化ガリウム/結晶セレンフォトダイオードの電気特性

〇峰尾 圭忠¹、為村 成亨¹、宮川 和典¹、難波 正和¹、大竹 浩¹、久保田 節¹ (1.NHK技研)

キーワード：イメージセンサー、セレン、酸化ガリウム

高感度なイメージセンサーに向けて、酸化ガリウム/結晶セレンを用いたアバランシェフォトダイオードの研究をしている。今回、低電圧でのアバランシェ増倍に向け、酸化ガリウムを結晶化すること及びスズ（Sn）を添加すること、また、結晶セレンの結晶化時間を長くすることにより、アバランシェ開始電圧を低下させ、光電流の増倍率10倍が得られるフォトダイオードの作製に成功したので報告する。