[10p-S321-1~7] 3.2 材料・機器光学

[10p-S321-4] 粒度分布が狭小な中空シリカナノ粒子を1段配列させた反射防止膜の特性について

〇二神 渉¹、熊澤 光章¹、眞田 夕子¹、村口 良¹ (1.日揮触媒化成(株))

キーワード：反射防止膜、中空シリカナノ粒子、低屈折率

反射防止膜の膜厚と同程度の粒子径を持つ、粒度分布が狭小な中空シリカナノ粒子を1段配列させた反射防止膜の特性とその特徴について報告する。