[10p-S421-1~9] 12.7 医用工学・バイオチップ

△ [10p-S421-4] 薄膜転写手法を用いた封止キャビティ構造のMEMS光干渉型表面応力センサの作製

〇高橋 利昌¹、崔 容俊¹、丸山 智史¹、瀧 美樹¹、澤田 和明¹、高橋 一浩^1,2 (1.豊橋技科大、2.JST さきがけ)

キーワード：表面応力センサ、ファブリペロー干渉計、バイオセンサ

MEMS光干渉型表面応力センサの高感度化を目的として, 薄膜転写手法を用いた封止キャビティ構造のMEMSセンサを製作した. 濃度1 ng/mlのBSAの抗原抗体反応に起因した反射スペクトルシフト量を測定し, 膜の変形に伴う干渉色の変化と共に10分で77 nmのピークシフトを取得した. この結果は従来構造のセンサに対し16.7倍の感度となっており, 提案センサにおいて低濃度の標的分子の吸着量を色変化として取得可能であることが示された.