[10p-S423-1~13] CS.7 7.4 量子ビーム界面構造計測、9.5 新機能材料・新物性のコードシェアセッション

[10p-S423-3] XANAMで観測したGe表面上X線誘起力場変化の解析

〇鈴木 秀士¹、向井 慎吾²、田 旺帝³、野村 昌治⁴、朝倉 清高² (1.名大院工、2.北大触媒研、3.ICU、4.KEK-PF)

キーワード：非接触原子間力顕微鏡、放射光X線、元素分析

表面／界面のナノ構造を個々に識別しながら、元素・化学状態を特定する手法として「X線支援原子間力顕微鏡(XANAM)」を開発してきた。これまでAuやNi試料を用いて、X線誘起の原子間力変化の測定・解析、元素マッピングの取得方法について検討してきた。今回は、前回に引き続き同手法をGe半導体試料に適用し、前回は捉えきれてなかったX線による原子間力の変化の様子を観測できた。より詳細な議論が可能となった。