[10p-S423-1~13] CS.7 7.4 量子ビーム界面構造計測、9.5 新機能材料・新物性のコードシェアセッション

[10p-S423-5] 可搬型中性子反射率イメージャーの開発

〇桜井 健次¹、水沢 まり^2,1、岩元 めぐみ¹ (1.物材機構、2.CROSS)

キーワード：薄膜界面、層構造、イメージング

薄膜・多層膜の機能は、その層構造、界面構造に左右されることが多い。中性子反射率法は、非破壊的に薄膜構造を評価、検証する有用な技術である。これまで不均一さの解析が十分に行えないことが問題であったが、最近イメージングもできるようになった。本講演では、さまざまな中性子源・ビームラインに持ち込み、組み立てて使用できる中性子反射率イメージャーの開発について報告する。