[10p-S423-1~13] CS.7 7.4 量子ビーム界面構造計測、9.5 新機能材料・新物性のコードシェアセッション

[10p-S423-7] X線光電子分光における時空間計測・解析手法の開発

〇豊田 智史¹、梶野 雄太²、山本 知樹²、首藤 大器³、野瀬 惣市³、吉村 真史³、住田 弘祐⁴、三根生 晋⁴、町田 雅武⁵、吉越 章隆⁶、横山 和司² (1.京都大学、2.兵庫県大、3.SP8サービス、4.マツダ、5.シエンタオミクロン、6.原子力機構)

キーワード：埋もれた界面、X線光電子分光、時空間解析

我々は、埋もれた物質界面の”動態”を直接観測し、材料プロセス設計に活用できる技術を構築するため、雰囲気制御X線光電子分光のデータ計測・解析手法の開発に取り組んでいる。今回、数万〜10万本の時空間分割スペクトルを高速にピークフィッティングし、深さ方向分布の時系列解析へと連動させ、機械学習により評価するソフトウェアを構築した。発表では、多層界面の4次元可視化、人工知能による解析自動化について議論したい。