[10p-W241-1~8] 金属酸化物による新技術の開拓Ⅰ～薄膜形成からデバイス創出に至るまで～

[10p-W241-5] 酸化物半導体・デバイスの電子構造、材料設計と成膜条件

〇神谷 利夫^1,2、細野 秀雄^1,2 (1.東工大フロンティア研、2.東工大元素セ)

キーワード：酸化物半導体