[10p-W241-1~8] 金属酸化物による新技術の開拓Ⅰ～薄膜形成からデバイス創出に至るまで～

[10p-W241-7] ミストCVDにおける薄膜成長メカニズム

〇川原村 敏幸^1,2、西 美咲¹、刘 丽¹、坂本 雅仁¹、ﾙﾄﾝｼﾞｬﾝ ﾋﾟﾓﾝﾊﾟﾝ¹、佐藤 翔太¹、上田 真理子¹、安岡 達也¹、長谷川 諒¹、田頭 侑貴¹、尾崎 珠子¹、鄧 太 江¹ (1.高知工大 シス工、2.高知工大 総研)

キーワード：ミストCVD、薄膜成長メカニズム

ミストCVDでは供給された液滴中に含まれる原料がどのように薄膜形成に寄与しているのか明確にはわかってなかった。今回は実験と理論からミストCVDにおける薄膜成長メカニズムが判明したので、報告する。