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一般セッション(口頭講演)

6 薄膜・表面 » 6.4 薄膜新材料

[10p-W323-1~16] 6.4 薄膜新材料

2019年3月10日(日) 13:45 〜 18:15 W323 (W323)

西川博昭(近畿大)、大友明(東工大)

15:45 〜 16:00

△ [10p-W323-8] 異なるガス種でスパッタしたAg薄膜の特性比較

〇相良僚佑¹、川村みどり¹、木場隆之¹、阿部良夫¹、金敬鎬¹ (1.北見工大)

キーワード：銀薄膜、スパッタガス、クリプトン