[10p-W541-1~20] 15.4 III-V-group nitride crystals

△ [10p-W541-13] Fabrication of needle-type blue μLED probe on Si substrate for multipoint light stimulation

〇Hiroki Yasunaga¹, Masahiro Ohsawa², Hiroto Sekiguchi^1,3 (1.Toyohashi Tech, 2.Nagoya city Univ., 3.JST PRESTO)

Keywords:Micro LED, Optogenetics

光遺伝学分野で神経細胞（~10 μm）の光刺激デバイスとして無線給電や脳深部に対する多点・局所刺激が可能なマイクロLEDが注目されている。本研究では、発光波長460 nmで直径20 μmのLEDを6つ集積化した4本の針を有するSi基板上μLEDプローブを作製した。各LEDからの発光出力は1 mA駆動時に30 μWと、神経細胞の活性化に十分な光出力が得られた。