[10p-W631-1~12] CS.5 6.1 強誘電体薄膜、13.3 絶縁膜技術、13.5 デバイス／配線／集積化技術のコードシェアセッション

[10p-W631-4] HfO₂薄膜の強誘電相形成におけるドーパントの役割

〇森 優樹¹、西村 知紀¹、矢嶋 赳彬¹、右田 真司²、鳥海 明¹ (1.東大院工、2.産総研)

キーワード：HfO2、強誘電体